Юрий Цветков

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур

Информация о книге:

Автор книги: Юрий Цветков

Жанр:

Серия:

Год издания: 2020

isbn: 978-5-7038-5369-6

Аннотация:

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

Скачать книгу