А. Т. Каменихин

Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

Информация о книге:

Автор книги: А. Т. Каменихин

Жанр:

Серия:

Год издания: 2020

isbn: 978-5-7038-5384-9

Аннотация:

Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.

Скачать книгу