А. Н. Игнатов

Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники

Информация о книге:

Автор книги: А. Н. Игнатов

Жанр:

Издательство: Инфра-Инженерия

Серия:

Год издания: 2023

isbn: 978-5-9729-1316-9

Аннотация:

Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 «Радиоэлектроника», 11.03.02 «Инфокоммуникационные технологии и системы связи», 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.

Скачать книгу