А. А. Глушко

Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus

Информация о книге:

Автор книги: А. А. Глушко

Жанр:

Серия:

Год издания: 2015

isbn: 978-5-7038-4177-8

Аннотация:

Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».

Скачать книгу