Александр Сергеевич Сигов

Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО

Информация о книге:

Жанр:

Издательство: ЮРАЙТ

Год издания: 2025

isbn: 9785534197709

Аннотация:

Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.

Скачать книгу