Александр Сергеевич Сигов
Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО
Информация о книге:
Автор книги: Александр Сергеевич Сигов
Издательство: ЮРАЙТ
Серия: Профессиональное образование
Год издания: 2025
isbn: 9785534197709
Аннотация:
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.