Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Дмитрий Крутогин

Аннотация:

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».