Дмитрий Крутогин
Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов
Информация о книге:
Автор книги: Дмитрий Крутогин
Жанр: Техническая литература
Издательство: МИСиС
Год издания: 2013
isbn:
Аннотация:
В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы».