Выращивание монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей. Александр Шиманский

Аннотация:

В монографии обобщен экспериментальный материал отечественных и зарубежных ученых по проблеме получения монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей. Представлены собственные результаты авторов по выращиванию малодислокационных и особо чистых кристаллов германия, разработке новых контейнерных материалов, исследованию поведения кислорода в германии и его влияния на структурное совершенство монокристаллов. Предназначена для специалистов, занимающихся изучением и производством полупроводников, а также студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Материаловедение и технологии материалов», «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники».