В. Ю. Васильев Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов Подробнее
В. Ю. Васильев Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем Подробнее
